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徠卡工業課堂 | 紫外成像應用分享 發布時間:2026-01-30
紫外的應用點紫外成像可以獲得比可見光成像更高的分辨率,能夠量測更小的尺寸及分辨更小的缺陷。廣泛應用于晶圓和掩膜版關鍵尺寸(CD)測量及缺陷分析。(基于瑞利公式對比,基于紫外光和可見光波段相比,基于相同0.9NA物鏡對比)什么是關鍵尺寸晶圓/掩膜版的CD(關鍵尺寸),是芯?微結構中...
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