針對不同類型的樣品，徠卡提供了多種具有針對性的照明方案：

可在大視野下提供明亮、均勻的光線，適合常規觀察；搭配勻光器和起偏鏡組后，還能減少金屬等反光樣品表面不需要的眩光與亮點。環形燈可全開，或者開一部分區域，對于相同位置樣品均可獲得不同形態的效果，如圖所示。

環形燈區域全開的硬幣效果

環形燈區域部分開的硬幣效果，可明顯發現表面高度不同

額外的偏光模塊可以消除樣品表面的反光現象，如圖所示。

增加偏光片后，電路板表面部分反光區域有顯著改善

對于晶圓、光滑表面以及精細隱裂紋， 將光線經由光學系統導入并由樣品表面反射，有助于呈現細微缺陷。適用于檢查精細隱裂紋和光滑和反光樣品的表面。

左側為使用同軸光照明，右側使用環形光照明，

樣品為晶圓。同軸光照明可觀測到更多表面精細裂紋缺陷。

面對凹口、深孔或具有一定深度的結構，近距離垂直照明NVI能夠提供無陰影照明，減少結構遮擋造成的觀察盲區。

左側為使用近垂直光照明，右側使用環形光照明，

樣品為手掌菌株。近垂直光照明可觀測到更深處細節及無陰影圖像。

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